真空热处理炉中橡胶叶轮技术的发展

  真空热处理工艺的发展与设备的发展密不可分。 提高设备的技术水平以满足工艺要求通常与支持零件技术的发展密切相关。 橡胶叶轮的开发主要是为了通过活塞式气泵获得真空，但只能达到0.25托的真空。 随后的管制造技术要求更高的真空度，这促进了真空技术的发展，因此出现了各种橡胶叶轮：旋转水银橡胶叶轮，油封旋转橡胶叶轮，分子橡胶叶轮和扩散橡胶叶轮。 其中，扩散橡胶叶轮的发明使真空技术进入了高真空阶段（约10-8根毛发）。 随着现代科学技术的发展，例如加速器，热核反应堆，大型真空护罩等，要求能够在大空间中建立必要的真空。 因此，到1960年代初，扩散器橡胶叶轮的排气速度已达到数万升/秒。 然而，就真空热处理所需的真空度而言。 仅在特殊情况下， 因此，真空热处理炉中常用的橡胶叶轮由机械橡胶叶轮和油蒸发扩散橡胶叶轮组成。